技术编号：5014695
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。更具体地说，本发明涉及一种分解分子内含有碘的氟化合物以使其无害化的方法。背景技术 迄今，所谓的PFC(全氟化碳)气体例如CF4、C2F6和C4F8主要用于使用硅基化合物进行蚀刻或清洗的过程中。但是，这些气体具有的问题在于，它们在空气中的寿命长并且它们的全球变暖系数高。考虑到抑制全球变暖，京都议定书(COP3)已要求大大降低它们的使用。为了满足上述要求，人们正在着手研发在空气中具有短的寿命并且具有低的全球变暖系数的蚀刻或清洗材料。另一方面，半...
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