技术编号:5015533
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMS),更具体地涉及可以包含或运送流体的MEMS。背景许多类型的微机电系统(MEMS)可提供电子检测、控制和计算。MEMS技术正在应用于持续减小的系统中,并且近来已经应用于纳米级系统中。用于持续减小、尤其是小至纳米级尺寸的器件的设计提出了相当大的设计挑战。当MEMS器件和电路应用于恶劣环境中时会导致相当大的复杂性。最具挑战性的环境之一是MEMS或任何电子电路设计用于或应用于流体(更具体地说是血液、其它体液或难处理的流体)。MEMS...
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