技术编号:5016475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微电子的器件,特别是一种阵列式多腔压电驱动微混合器。背景技术 目前,微混合器件可分为通道式混合器和微腔混合器,通道式混合器通过构造特殊的微流体通道来使不同试剂流的扩散效应变得更为显著,从而实现试剂的混合;而微腔混合器,由一个或多个制作在基片上的密闭微腔和驱动部件构成,通过驱动部件在外部施加机械运动引起震荡,从而促进微腔内不同试剂的混合。在微流体系统中,由于通道长度和孔径小,雷诺数较小,流体在通道式混合器中实现均匀混合难度较高,耗时较长。而...
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