技术编号:5017669
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关于一种废气洗涤系统,尤指一种进气装置及洗涤塔本体为玻璃纤维材质一体成型制造的废气洗涤系统。背景技术按,一般半导体工艺所产生的废气,主要来自于元件的蚀刻、掺杂质以及集成电路板的酸洗作业等,而其所产生的有毒物质必须经过适当处里才可将废气及废水排放,以避免违法污染了周遭环境。而公知的废气洗涤系统,例如台湾公告第546159号专利,其公开一种洗涤塔废气处理系统及方法,该系统里提供一种软水装置,用以除去洗涤液中所含的钙离子及镁离子,使在洗涤液酸碱值控...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。