技术编号:5021117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。总的来说,本发明是将一种称为‘淋浴头’式的进气口布置技术改进后应用到等离子发生器的等离子放电腔中。这种等离子发生器工作中的等离子是通过射频,或者射频加直流电,或者脉冲射频技术电子激发的。因此,本发明适用于平行板型的发生器。这种发生器的射频能量是经过一对板状呈电容方式布置的电极耦合到等离子放电腔中的。而其他种类的发生器的放射能量是通过微波耦合或者感应输入的。这种电容耦合等离子发生器通常用于加工作为支撑材料的工件表面,在等离子放电加工过程中,一次将至少一个工件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。