技术编号：5021249
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制备低浓度 一 级标准混合物(primary standard mixes) 的系统和设备。本发明的标准混合物用于校准分析检测器如质谱仪，以 及用于燃烧室和加工工具的排放分析。背景技术在许多工业中，对于浓度在100-1000 ppb(十亿分之一份)的低浓度一 级标准气体混合物的需求不断增长。随着环境规范越来越严格，环境释 放测试中最受关注的是氮氧化物在氮气中的混合物。对具有UHP纯度级的供应气的需求，促使工业上开发用于检测气体 杂志的分析技术...
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