技术编号:5021638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在催化剂存在下通过歧化三氯硅烷来生产曱硅烷和四氯 化硅的连续方法。背景技术甲硅烷是一种制备太阳能用硅的重要原材料。目前曱硅烷通常通过歧化三氯硅烷来制备(例如DE2162537、 DE2507864、 DE 3925357、 DE3311650、 DE10017168、 US3968199)。在三氯硅烷(TCS, HSiCl3)的催化歧化中,甲硅烷(SiH4)与副产物 四氯化硅(STC, SiCL)—起生成,其中四氯化硅可以被用于例如Si02的 制...
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