技术编号:5023363
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种工业生产多晶硅所产生的尾气的回收处理方法,更具 体地,涉及一种。背景技术多晶硅是制备单晶硅的原料,最终用于生产集成电路和电子器件,是 信息产业用量最大、纯度要求最高的基础原料之一,也是国家重点鼓励发 展的产品和产业。世界先进的多晶硅生产技术一直由美、日、德三国的公司垄断着,各 个公司都有各自的技术秘密和技术特点,经过不断的研究、开发,形成了 各自的生产工艺,并从各自国家战略角度出发,严格控制技术转让并垄断 全球多晶硅市场。我国多晶硅工业起步于...
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