技术编号:5023769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,尤指一种将部分泄漏在旁通风管内 的废气,经由第一管路抽送至转轮中的冷却区域后端的新鲜空气进气管路 里,再送至转轮中的脱附区域脱附的设计,使得本发明具有提升排气质量的功效,而适于应用在各种半导体业、光电产业、其它化学/化工相关产业 和相关要求空气质量的场所。背景技术随着中国台湾高科技产业的蓬勃发展下,半导体产业日渐成长迅速, 其中半导体产业可以包含有集成电路产业与光电产业,对经济具有极大的影响力,但在半导体组件及光电组件制程中随之衍生了许多废液、...
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