技术编号:5024998
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对Epi、 Ploy或PECVD 化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。背景技术在Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气,如SiHC3、 HC1、PH3等,这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。 这些废气中有的能与水反应,生成Si02O和HCl气体等,而HC1等气体和废气中 的其他成份可以被水有效吸收,因此,目前,美国、俄罗斯、日本等国大多采 用水...
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