技术编号:5026810
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置。 背景技术外延工艺中需要大量的HCL,三氯氢硅(TCS) ,BA, PH,, H2等特殊气体,其 中,TCS,B晶,PH,都为剧毒气体,这些气体会影响厂房周边的人生和环境安全, 需要避免直接排入空气中,尾气处理器是外延工艺过程中必须的尾气处理装置。 外延用尾气处理器是专门设计处理外延尾气废气的装置。通过外延炉的排气管和 尾气处理器的进气口连接,外延废气进入尾气处理内发生反应,然后排出无污染 的气体。一般的...
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