氢透过分离薄膜的制作方法技术资料下载

技术编号:5027605

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本发明涉及由具有高机械强度的Ni-Ti-Nb合金或Nb-Ti-Ni合金构 成,因此能够进行厚度0.07mm (70nm)以下的薄膜化,结果在实用时 能够显著提高薄膜化所产生的氢透过分离性能的氢透过分离薄膜。背景技术近年来,例如作为氢燃料电池或氢气体涡轮机等能量系统的燃料气 体,高纯度氢气倍受关注,该高纯度氢气已知如下生产由将水电解而 获得的混合气体或将液化天然气(LNG)水蒸气重整而获得的混合气体 等含氢原料气体,如图5的概略说明图所示,使用外周部例如用N...
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