技术编号:5027998
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在处理环境、例如半导体制造环境中用于管理化学品的方 法和系统。背景技术在各种工业中,化学输送系统被用来向处理设备供应化学品。示例工 业包括半导体工业、制药工业、生物医学工业、食品加工业、家用产品工 业、个人护理产品工业、石油工业等。当然是取决于所执行的具体过程,化学品由给定的化学输送系统输送。 因此,向半导体处理设备供应的具体的化学品取决于在设备中对晶片所执行的工艺。示例的半导体工艺包括蚀刻、清洗、化学机械抛光(CMP )和湿 沉积(例如化学气相...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。