技术编号:5029927
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在液体中产生等离子的等离子技术,更具体地涉及 在液体中产生高能等离子的方法和装置,以及其中所用的电极。 技术背景作为采用等离子的蒸气淀积技术,采用气相等离子的蒸气淀积 技术已经按常规被广泛采用。然而,在具有低材料密度的气相等离 子中,反应速度低。因此,需要在有高材料密度的液体中产生等离 子的技术。例如,国际^^布号02/038827的小册子(文献l)描述产生气泡流 体的发明,气泡含有要沉积在电解液中的材料来源,电解液中放有 一对隔开的电极,在气泡...
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