技术编号:5033500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子产品制造领域,更具体的说,涉及一种风机滤器单元和无尘室空气净化系统。背景技术很多电子产品为了避免粉尘颗粒影响产品品质,一般会建立无尘室来过滤空气中的粉尘等固体颗粒杂质。参见图I无尘室在建筑顶端铺设有风机滤器单元(Fan FilterUnits,以下简称FFU),也就是将风机和过滤器(高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA))组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风...
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