技术编号:5036964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可以分离捕集液体中含有的微粒的液体过滤用过滤器滤材及滤材的制备方法。更详细而言,本发明涉及一种用于高效地除去加工屑、得到净化液体的滤材及此滤材的制备方法,所述加工屑存在于用于金属的刻模、切断加工等的线电极电火花加工机床的加工液中或在IC生产中基盘晶圆的切断、研磨、浸蚀等工序中所用的超纯水中。背景技术 目前,将利用线电极电火花加工机床进行加工应用于金属的刻模、切断加工等。使用线电极电火花加工机床进行加工时,加工屑悬浮在加工液中,为了除去此加工屑...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。