回收硅粉和碳化硅粉的超声波分离装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5037392

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本实用新型涉及一种从单晶硅棒或多晶硅锭生产硅片过程中产生的废砂浆中回收出硅粉和碳化硅粉的超声波分离设备。背景技术CN101130237A公开了“一种从切割废砂浆中回收硅料和硅化硅粉的方法”,该方法主要经丙酮溶解、清洗、离心分离、气流浮选、液体浮选和重力分选等步骤获得硅料和硅化硅粉,该方法过程复杂,较难操作且获得硅料的纯度尚欠理想。CN101879481A公开了“一种利用电选从硅晶体切割液中回收多晶硅材料的方法”,该方法主要通过电选设备利用硅粉和其它固体杂质...
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