技术编号：5037965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型的领域是与密封搅拌轴有关的设备，且明确地说，是与将搅拌轴密封于用于煅烧固体的室中以产生可能具有腐蚀性和高反应性的气体同时避免污染有关的设备。背景技术用以产生高纯度材料，且明确地说，用以产生例如半导体等无污染的电子级材料的许多化学工艺均利用高反应性气体。生产此类高纯度气体的一种方法是煅烧固体前躯物，其中通过留下作为前驱物中的固体或通过前驱物的合成中的相偏析来杜绝污染物。用以合成此类材料的气体通常是高度反应性的，因此，除非采取特殊的预防措施来密封用以...
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