技术编号:5040336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种硅晶切割液的回收方法,特别是指一种利用溶解度差回收硅晶切割液的方法。二、背景技术一般硅晶棒多是利用多线切割方式切割成硅晶圆,并供应半导体或光电产业使用,以制造电子产品或太阳能电池。而为了减少线锯切割的过程硅晶圆表面产生缺陷或是破裂的情形,硅晶棒在切割过程中会使用具有润滑及冷却作用的切割液,以降低切割过程中的机械应力和热应力损害;此外,切割液对高硬度的碳化硅砥粒具有良好的分散性,可进一步提高硅晶棒切割制程的稳定性。然而,硅晶棒切割后,大量的切...
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