技术编号:5046405
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及生产三氯硅烷的系统和方法,具体地,涉及利用汽化技术降低三氯硅烷反应系统的能耗并提高其有效性的系统和方法。背景技术在美国专利号4,340, 574中,Coleman公开了一种从分离塔中利用再循环来生产超高纯度硅烷的方法。在美国专利号4,676,967中,Breneman公开了一种生产高纯度硅烷和硅的方法。在美国专利号5,118,486中,Burgie等人公开了通过使副产物流雾化(atomization)成为微粒状娃和娃烧来进行分离。在美国专利号6,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。