技术编号:5046418
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及加热装置(heater)、系统及加热方法,特别是,涉及氢氯化反应(hydrochlorination)或氢化(hydrogenation)加热装置,且涉及加热系统中的流体(stream)及产生三氯娃烧(trichlorosilane)的过程。背景技术三氯娃烧能通过根据下列反应方程式氢化四氯化娃(silicon tetrachloride)而产生Si+2H2+3SiCl4 — 4HSiCl3 (I)反应方程式(I)通常于高压下完成,介于约250磅每...
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