技术编号:5046783
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于从废气中清除粉尘的涤气器和一种废气处理装置,更具体的说,涉及一种高效率的从废气中清除粉尘的涤气器,以及一种具有这样的涤气器、布置在该涤气器的下游侧的热交换器及其它设备的废气处理装置。背景技术 在半导体和液晶显示器制造过程中,从制造装置中排出含有硅烷(SiH4)或卤素气体(NF3,ClF3,SF6,CHF3,C2F6,CF4及类似气体)的废气。由于硅烷和卤素气体是有害的、易燃的、或难于分解的,包含这种硅烷和卤素气体的废气不能直接释放到大气中...
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