技术编号：5047654
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产的尾气回收系统，特别涉及。背景技术在改良西门子法生产多晶硅的过程中产生的尾气主要有三氯氢硅还原尾气、四氯化娃热氢化尾气和三氯氢娃合成尾气，它们的主要成分都是氢气、三氯氢娃、四氯化娃以及少量的氯化氢和二氯二氢硅。生产多晶硅产生的尾气的干法回收系统是改良西门子法的核心技术之一，它主要包括尾气冷凝、压缩、尾气吸收及脱吸、吸附精制氢气四个部分，具体为，(I)尾气冷凝先对尾气进行冷凝，以回收尾气中的三氯氢硅和四氯化硅；(2)压缩对步骤(I)所得的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。