技术编号:5050673
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种过滤装置。背景技术现有的多晶硅制造工艺中,需要对硅粉硅尘进行过滤处理,现有的过滤装置,采用纤维式滤件,表面易形成气膜造成气阻,工作性能不理想。发明内容 本实用新型的目的在于提供一种结构合理,工作性能好的全自动硅粉硅尘过滤器。 本实用新型的技术解决方案是 —种全自动硅粉硅尘过滤器,其特征是包括壳体,壳体上设置进气口 ,进气口部位的筒体内设置锥形旋风筒,进气口与锥形旋风筒之间为锥形旋风空间,锥形旋风筒上方设置过滤装置,过滤装置上方的壳体上设置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。