技术编号:5051068
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化工设备领域,更具体说是一种精馏硝酸的装置。 背景技术我国的电子工业在飞速发展,因此,芯片制造行业也在突飞猛进,而用于芯片的清 洗和腐蚀,需要超高纯的硝酸,一个浓度大于68wt%的硝酸源,它的纯度对芯片的成品率, 起着关键性的作用,随着科技不断地发展,芯片的氧化膜越来越薄,对硝酸的要求也越来越 高,虽然目前已有超高纯硝酸的制备工艺出现,如亚沸蒸馏法、精馏法,但设备投资大,生产 工艺复杂,非一般化工厂所能接受。发明内容本实用新型的目的是为了弥补...
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