技术编号:5051212
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片处理设备,尤其涉及一种用于硅片碱液制绒面处理中,可以使碱液在清洗过程中的浓度、温度均匀以及减少碱液结晶的自动无极调速整体搅拌系统。背景技术在硅片碱液制绒面处理过程中,清洗硅片时碱液的浓度、温度是否均匀以及碱液 结晶多少是必须控制的。这直接影响硅片清洗的质量。现有制绒碱液的浓度、温度及结晶 的控制是采用简单的搅拌装置来控制,碱液各点温度的及时检测和碱液的及时搅拌,都不 能有效的控制,使得碱液结晶较快、较多,影响硅片碱液制绒面处理的质量。发明...
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