技术编号:5051346
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种过滤结构,具体涉及一种分离硅粉颗粒的三氯氢硅合成气气 固分离装置。背景技术目前,三氯氢硅生产工艺一般多采用流化床法。流化床生产工艺都会有部分细小 硅粉被合成气带出。目前合成气中的细小硅粉常采用两级分离的方式,一级使用串联多级 旋风分离器分离硅粉中粒径大于IOum的颗粒;粒径小于IOum的颗粒选用布袋过滤器。细 小硅粉分离程度影响合成气冷凝液——氯硅烷冷凝液中固体含量。由于硅粉硬度接近金刚 石,达到莫氏硬度7,氯硅烷冷凝液中固体含量偏高,不...
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