无机质球状化粒子制造用燃烧器的制作方法技术资料下载

技术编号:5052914

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本发明涉及在制造无机质球状化粒子时使用的燃烧器以及使用该燃烧器的无机 质球状化粒子制造装置。本申请基于2008年8月4日在日本申请的日本专利申请第2008-201301号主张 优先权,在此引用其内容。背景技术无机质球状化粒子为在高温火焰中熔融粉碎了二氧化硅等的原料粉末,利用表面 张力而球状化得到的粒子。例如,使用硅石作为原料的高纯度的球状二氧化硅被广泛用作半导体元件的环氧 密封材料用填充材料,通过球状化,可以得到填充材料的流动性的提高、高填充、耐磨损性 提...
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