技术编号:5053203
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通过利用四氯硅烷减少壁上沉积的流化床反应器生产硅相关申请的交叉引用根据35U. S. C. 120,本申请要求2008年11月5日提交的美国专利申请号 12/265, 038的权益。将美国专利申请号12Λ65,038并入本文以供参考。关于联邦资助研究的声明无背景技术众所周知,通过被称为西门子工艺(Siemens process)的方法可以制造棒形硅。将包括氢和硅烷(SiH4)的混合物或包括氢和三氯硅烷(HSiCl3)的混合物供入含有温度保持在高于1000°...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。