通过利用四氯硅烷减少壁上沉积的流化床反应器生产硅的制作方法技术资料下载

技术编号:5053203

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通过利用四氯硅烷减少壁上沉积的流化床反应器生产硅相关申请的交叉引用根据35U. S. C. 120,本申请要求2008年11月5日提交的美国专利申请号 12/265, 038的权益。将美国专利申请号12Λ65,038并入本文以供参考。关于联邦资助研究的声明无背景技术众所周知,通过被称为西门子工艺(Siemens process)的方法可以制造棒形硅。将包括氢和硅烷(SiH4)的混合物或包括氢和三氯硅烷(HSiCl3)的混合物供入含有温度保持在高于1000°...
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