技术编号：5055714
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种过滤结构，尤指一种适用于一流体通道且其滤网交错设置的过滤 结构。背景技术在许多机器设备中多有各种各样的管路设计，以半导体工艺设备为例，通常以真 空泵对反应室进行抽气，以维持反应室内气体的组成稳定及纯净度。请参阅图1，其为根据 现有技术的一实施例的一真空工艺设备1的示意图。真空工艺设备1包含一反应室12、二 气源14、一抽气管路16、一真空泵18及一滤网20。一工件2设置于反应室12内的载台上， 工艺所需气体自气源14输入至反应室12内。为了维...
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