技术编号:5056413
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域,尤其涉及高效气体过滤系统。 背景技术请参见图1,图1所示为现有高效粒子空气过滤(HEPA,High EfficientParticulate Air)系统2的结构示意图,其安置于集成电路制造厂房内,厂房空气从上至下流动,方向如箭头A所示。所述HEPA系统2,包括位于机台1上方的第一风扇组 21和位于机台1内顶部的第一过滤网组22,通过调节第一风扇组21的风力使得机台1内的气压处于所需的设定范围,所述第一过滤网组22用于过滤从机台1顶部...
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