技术编号:5075400
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化工设备,特别是一种微米、纳米级α-三氧化二铝、α-碳化硅 分级生产装置。 二背景技术微米级、纳米级α -三氧化二铝(α -Al2O3)、α -碳化硅(α -SiC)材料是压电晶 体生产进行细微加工用的关键材料,广泛应用于压电晶体、军工、航空航天、信息产业、压电 陶瓷、声、光学产业、光伏太阳能产业等领域,包括军用、民用、医疗和商业各方面都有极其 广泛的用途,但由于高纯度的微米级、纳米级α-Α1203、α-SiC产品,随着高科技时代的发 展,要...
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