一种碳化硅切割液及其使用方法技术资料下载

技术编号:5098894

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本发明涉及一种硅片切割辅料,特别是涉及。背景技术硅片是半导体、太阳能以及液晶显示等行业的基础材料,分为单晶硅片和多晶硅片,其原料为单晶硅或多晶硅,经过铸锭炉拉成硅锭,再切成硅棒,之后使用线切割机加工成各种规格的硅片。线切割机加工过程中需配制切割液,再混合碳化硅制成砂浆,随后使用砂浆对硅片进行切割。聚乙二醇(PEG)因其浸润性好、空间位阻效应强等特点对碳化硅(SiC)类磨料具有优良的分散特性,因而在硅片加工过程起着无可替代的作用。PEG的浸润性和空间位阻效应...
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