技术编号：5108618
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种镀铜工艺，它适用于微致动器电极的柔性导电处理，或其它需要柔性 导电处理的产品，是一种硅橡胶化学镀铜工艺。背景技术微致动器以其外形小或操作尺度小的特征成为认识和改造世界的一种高新技术，其应 用前景广泛，涉及医学、航空、生物工程等领域，受到各工业发达国家的重视。但是，作 为一般的微致动器，它们在工作中易损伤操作对象和破坏工作环境，动作柔性弱，不具有 导电功能，不易做到连续和平滑，机械冲击大，使用寿命短。所以，目前其研究致力于向 微小化及柔韧性的方...
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