晶硅片切割液的固液分离方法技术资料下载

技术编号:5120133

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本发明涉及一种,旨在解决切割液中细小固体颗粒难以分离的问题,包括下列步骤先调节切割液pH值至8~9,然后静止10~20小时沉降分层,再在0.01~0.05MPa的虹吸压力下虹吸分离得上层清液,将其与经高速离心分离下层料浆所得的液体混合均匀后,通入石英砂过滤,然后加入吸附剂吸附,再经压滤、超滤后,最终实现切割液的固液分离。本发明方法具有固液分离彻底、分离的切割液可重新使用的特点,同时避免化学分离方法反应气体的生成以及对环境及生产安全造成的不良影响。专利说明 ...
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