半导体装置及其制造方法技术资料下载

技术编号:5130065

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本发明涉及半导体装置和制造该半导体装置的方法,其中该半导体装置包括由导体或半导体组成的微粒和有机半导体分子形成的导电路径。背景技术在电子电路中,特别地在显示器等中使用的有源矩阵电路中,薄膜晶体管(此后简称为“TFT”)被广泛用作开关元件。目前,大多数TFT是Si无机半导体晶体管,其在半导体层(沟道层)内使用无定形(α-Si)或多晶硅(Poly-Si)。在这些晶体管的制造中,在半导体层的形成中使用等离子化学汽相沉积(此后简称为“CVD”)等,因此工艺成本高。...
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