一种eb炉利用真空系统提纯抽真空油方法技术资料下载

技术编号:5130893

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一种EB炉利用真空系统提纯抽真空油方法本发明属EB炉(电子束熔炼炉)真空污染油提纯方法。技术背景EB炉(电子束熔炼炉)系统产生许多飞溅物;分布许多冷却设备,由于各种原因产生泄漏,主真空系统机械泵,罗茨泵,油增压泵,扩散泵,扩散泵的维持泵,旋叶泵;EB 枪真空系统的扩散泵旋叶泵(用于粗抽真空和维持泵);所以真空系统中的这些设备流体润滑里面就有杂质和水分子,使真空油油质变差从而影响EB炉抽真空的效果,由于真空油价格昂贵,用量大,对生产成本影响较大,高成本会使产...
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