技术编号：5132055
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术通讯行业、航空科技、生物医学以及芯片实验室中的微电机装置、微小系统、纳米 科技、纳米电机装置最近发展迅速。这些装置大多是利用传统半导体工艺由单晶或多晶硅 制造。其他一些材料，如氮化硅、碳化硅、镍以及类金刚石碳等也被使用。这些材料常常以 纳米膜的形式被沉积到硅基底上以增强材料的强度、耐磨性以及抗腐蚀能力。在频繁的接 触中，如果没有有效的润滑，这些部件的寿命是非常短的。因此，有效的润滑膜对这些微/ 纳米器件的实际应用具有极其重要的意义。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。