技术编号：5207241
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统(MEMS)，其是采用标准半导体工艺构造的非常小的可动机械结构。MEMS可以设置成致动器，其在许多应用中非常有用。这些致动器通常具有几百微米的长度，有时宽度仅有几十微米。MEMS致动器通常以悬臂方式构造和设置。因此，其一端连接到基板上，并且其相对的自由端可在至少两个位置之间移动，其中一个位置是中间位置，其它的是偏离位置。工业中使用的最常见的致动机构是静电的、磁的、压电的和热动的。此处讨论的致动机构是热动式的。热动的MEMS致动器的偏...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。