技术编号：5264334
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。带有双膜片的微机械膜片传感器现有技术本发明涉及一种根据独立权利要求前序部分的、用于制造微机械膜 片传感器的方法以及一种用该方法制造的微机械膜片传感器。为了检测不同的物理量(压力、温度、空气质量、加速度、转速)， 特别是在机动车领域再三使用带有微机械传感器元件的部件。典型的 是，在此经常使用在膜片上的测量元件，这些膜片设置在一个空穴上面。 为了制造膜片或者空穴，除了所谓的表面微机械(其中由牺牲层和功能 层构成的层堆叠被淀积、结构化并且选择性地被去除)，还公开...
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