技术编号：5264346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于。背景技术 硅纳米线由于特有的量子限制效应、量子隧穿效应、库仑阻塞效应等光学、电学性质以及高表面活性引起了广泛关注。硅纳米线在纳米传感器、单电子晶体管、单电子存储等纳米电子器件及合成其他纳米材料等方面得到广泛应用，它可成为纳米电子学领域的一种极有应用潜力的新材料。如果能用硅纳米线制备出实用的纳米电子器件，将使硅技术的应用从微电子学领域扩展到纳米电子学领域，对未来电子器件及整个电子领域的发展产生不可估量的影响。因此，制作出尺寸可控，均一的硅纳米线一...
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