技术编号：5264467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS传感器，具体是一种MEMS传感器在应用环境下使用可靠度的确 定方法。背景技术随着社会的进步和国家的发展，国际竞争日趋深化和激烈。市场对产品的要求越 来越高，既要求有高的性能，又要求有高的可靠性，也就是说在产品的整个使用过程中，要 保证产品在设计寿命期内性能稳定不变。随着MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技术的迅猛发展及其广阔的市 场前景，微型化、集成化、智能化日渐成为传感器的发展趋势。其中，ME...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。