技术编号：5264478
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及麦克风，具体说，涉及一种CMOS兼容的MEMS麦克风及其制造方法。背景技术硅基MEMS麦克风，也就是所说的声学换能器，已经研发多年了。硅基MEMS麦克风由于其在小型化、性能、可靠性、环境耐用性、成本和批量生产能力方面的潜在优势而可以广泛地用于许多应用(诸如手机、助听器、智能玩具以及监视装置)中。一般地说，硅基MEMS麦克风包括四个元件固定背板、高顺应性可移动振膜(两者一起构成了可变空气间隙电容器的两个板)、电压偏置源和缓冲件。背板和振膜这两个机械...
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