技术编号：5264528
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感，尤其是一种单片集成三维矢量振动传感器。 背景技术振动传感器广泛用于煤炭、电力、石油、化工、冶金、交通、建筑、军事工业等行业中对仪器、设备的长期振动监测和保护。随着微机电MEMS产业的兴起，振动传感器逐渐向微型化、集成化方向发展，具有广泛的军事和民用前景。现有的振动传感器，大多只能获取二维振动信息，不能确定振源的具体方位，使信息处理方法减少；且体积较大，灵敏度不高，安装固定方式又限制了其应用范围，如申请号为200910142088. X的中国...
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