技术编号：5264586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体，特别地，本发明涉及集成MEMS器件及其形成方法。 背景技术从二十世纪八十年代末开始，随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-Syst em, MEMS)技术的发展，各种传感器实现了微小型化。目前各种传感器中应用较多的主要包括MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器和 MEMS麦克风。所述MEMS压力传感器是一种用于检测压力的装置，目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。