技术编号：5264672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微组件的结构及其制作方法，尤指一种。背景技术 具有双轴的组件已被应用于传统工业或是微机电领域之中，例如在条形码器、激光打印机、显示器以及光切换开关等等领域之中。然而，因为传统的双轴组件的两轴位于相近似的环境下(例如处在具有相近似的空气阻尼(damping)的环境下)，其所具有的感测敏感度与精确度则是受到限制的。举例来说，就一个应用于显示器中的双轴微扭转面镜而言，其第一轴用以快速高频的对对象进行线扫描，扫描频率与角度越高，所得结果的精确度与分辨...
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