技术编号：5264752
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有非均勻线间距加热电阻丝的矩形微型加热器及其制作方法， 属于微电子机械系统(MEMS)领域。背景技术随着微加工技术的不断发展，基于MEMS工艺的微型加热器已开始在气体探测，环境监控和红外光源等领域广泛应用。由于应用的不断推广和深入，对微型加热器的低功耗、 低成本、高性能、高可靠的要求也日益强烈。如伺制作出低功耗高性能的加热器一直是本领域内技术人员追求的目标。在应用于气体传感领域时，为了达到更好的性能，加热器的加热膜区需要有较好的温度均勻性。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。