包含非对称生物活性区的微机电磁性生物传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5264759

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本发明申请一般性地涉及生物传感器,具体说,涉及包含非对称生物活性区的、基于磁阻效应或巨磁阻效应的微机电磁性生物传感器。背景技术现有的磁性生物传感器,比如美国斯坦福大学的磁性生物传感器(阵列),结合生物技术、纳米技术、集成电路技术、微机电技术(MEMS,Micro-Electro-Mechanical-System )、生物技术等,利用基于巨磁阻效应(GMR,Giant Magneto-Resistance)的磁场测量单元 (比如自旋阀spin valve,...
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