一种基于精密机械加工的微型热电器件制作方法技术资料下载

技术编号:5264795

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本发明属于功能材料的微加工和器件集成领域,具体涉及到。背景技术热电器件是指可以直接实现电能与热能相互转换的一类电子元件,其核心是由多组不同载流子类型的热电材料串并联起来组成的热电模块。相比传统的内燃发电机和空气压缩制冷机,热电器件的主要优势是结构简单,没有移动部件(因此也无振动噪声),以及易于小型化、微型化;劣势是在大功率应用时,能量转换效率相对较低。微型化的热电器件不仅在换能效率上占有相对的优势,而且可以在光电元件、电子芯片的散热,以及基于 MEMS (...
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