技术编号：5264802
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造工艺，尤其涉及一种。背景技术微机电系统(Microelectromechanical systems, MEMS)技术在工业控制领域的应用十分广泛，其制备的MEMS器件按特性可分为传感器和执行器，传感器将压力、加速度、温度等物理量转换为电信号；而执行器将电能转换为某种形式的受控机械运动。此外，MEMS技术其它领域，例如LED封装等，也有重要应用。与已经非常成熟的CMOS工艺相比，MEMS工艺起步较晚，且不成熟，为了实现MEMS器件的产业...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。